臺積電增購2臺極紫外光設備 加快投入2納米研發(fā)

臺積電是目前最積極導入極紫外光微影設備提供代工量產(chǎn)服務的晶圓廠，也因臺積電在鰭式場效電晶體（FinFET）技術工藝精進，臺積電在5納米全數(shù)導入極紫外光微影設備。

臺積電已宣布3納米延續(xù)采用鰭式場效電晶體架構，依此技術架構，向2納米邁進。

臺積電此前在2019年年報中透露，公司已開始開發(fā)2納米技術，同時針對2納米以下的技術進行探索性研究。